备案档案扫描的具体步骤如下：

1. 准备设备：需要一台扫描仪或者多功能一体机，以及电脑或手机。

2. 准备材料：备案的档案原件，清晰无误的复印件。

3. 打开扫描仪或多功能一体机，将待扫描的档案放置在扫描仪上，按下扫描键。

4. 在弹出的扫描设置界面中进行参数设置，比如扫描分辨率、颜色模式、文件格式等。

5. 等待扫描完成后，将扫描结果保存到电脑或手机上，并进行备份。

6. 对于扫描结果进行检查和比对，确保扫描质量符合要求。

7. 上传扫描结果，并进行备案登记。